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一般排气时间需要几分钟左右。等离子体清洗用气体引入真空室。隧道附着力为什么变小了保持室内压力稳定。根据清洗材料的不同。氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体分贝均可使用。在真空室内电极和接地装置之间施加高频电压。使真空室内产生的等离子体完全（完全）覆盖待处理工件，使气体分解，开始清洗作业，通过辉光放电产生等离子体和等离子体。一般清洗处理持续几十秒到几十分钟。清洗完毕后、通过真空泵抽走气体和气化的污物，切断电源。

等离子设备（PLASMACLEANER）、是一种利用等离子达到传统清洗无法达到的效果的高新技术产品工艺，隧道附着力大还是小又称等离子清洗机或等离子表面处理设备。等离子体是物质的一种状态，不同于一般的固态气体的三种状态，也称为物质的第四态。正是等离子体状态向气体中注入了足够的能量来释放它。其活性成分包括离子、电子、原子、活化基团、激发态核素（亚稳态）、光子等。

这种电子在电磁场加速时获得高能量，隧道附着力为什么变小了并与周围分子相互作用或者原子碰撞重新激发分子和原子中的电子，这些电子本身处于被激发或离子状态，当物质的状态是等离子体时。等离子体中除了蒸气分子、离子和电子外，它们被一种电能激发，还有电中性原子或原子群，也称为自由基。等离子体以长长的带状发光。等离子体与材料表面相互作用时，电能起着重要作用。。

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适用于处理三维、不规则物体、局部可选择性处理。等离子体处理设备稳定性高、功能完善，具有故障报警（包括气压报警、异常放电报警和旋转喷嘴停止报警）和PLC信号反馈功能（包括气压反馈信号、放电反馈信号和放电控制反馈信号）。目前国内大部分设备基本不具备该功能，可以有效避免因未能及时发现故障而造成的损失，而多支喷枪同时运行时该功能非常重要。

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