图层附着力仪器使用（增加图层附着力的软件）

（2）基态的CO2分子吸收能量。图层附着力仪器使用转化为激发态的CO2分子。显然。CO2 的转化主要依赖于前者。在相同的等离子体条件下。纯 CH4 和纯 CO2 的转化率分别为 10.9% 和 9.4%。 C当H4和CO2共供时。CH4和CO2的转化率高于上述值，说明CH4和CO2共供有利于它们的共活化。随着系统中 CO2 浓度从 15% 增加到 35%，C2 烃的产率略有​​增加。

CO2浓度越高。图层附着力仪器使用体系中活性氧物种数量越多，在活性氧物种作用下C2H6的C-H键及C-C键断裂更加容易。因此，C2H6转化率随着CO2浓度的增加而增加。C2H2、C2H4收率随着CO2加入量的增加呈峰形变化，CO2浓度低促进C2H2、C2H4生成， CO2浓度高则导致活性氧物种数量增多，C自由基与活性氧物种生成CO，促使C2H6的C-H键及C-C键彻底断裂。

氩和氦的特性稳定。与氧和氦分子的碰撞导致电荷转换和再生增加，另一方面，易形成半稳定原子的物体Ar+与污物碰撞后被放电形成挥发性污点 真空泵一方面避免了表面材料的反应，氩气的使用往往会形成可变稳定性原子，增加图层附着力的软件放电电压低（氩原子的电离能E为15.57 eV）。作用于物体表面的活性氧和氢原子。等离子清洗机使用纯氢气清洗表面氧化物、效率很高，但这里主要考虑放电的稳定性和安全性。

等离子清洗/蚀刻机在密闭容器中设置两个电极形成电磁场、图层附着力仪器使用利用真空泵实现一定的真空度产生等离子。它形成等离子体、同时产生辉光。等离子机 等离子在电磁场中在空间中运动、实现表面处理、清洗、蚀刻等效果，撞击待处理表面。与使用有机溶剂的传统湿法清洗相比，无需进一步干燥即可送至下道工序，等离子机具有九大优势： 1.等离子清洗后，待清洗物体干燥。

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大气压等离子体，也是一种低温等离子体，不会损伤材料表面。没有电弧、真空室或有毒气体吸入系统，长期使用不会对操作者造成身体伤害。大气辉光等离子技能。 RF射频用作激励电源，工作频率为13.56MHZ。生成气体使用氩(AR)，反应气体使用氧气或氮气。等离子清洗机的优点：主要有腔体式和常压式两种，都是直接式等离子。腔体等离子体的一个特点是它需要一个封闭的腔体，并且电极内置在真空腔体中。

等离子体清洗/蚀刻机产生等离子体装置使用真空泵达到一定的真空度,在密封的容器中,气体越来越薄,分子之间的距离和自由流动的分子或离子之间的距离也越来越长,电场,它们碰撞,形成等离子体,这些离子的活性很高。能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面上引起化学反应。

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它导致了血浆发光。温控系统通常用来控制腐蚀速度。60到90度之间的温度比周围环境温度的等离子腐蚀快4倍。对温敏元件或使用温度敏感元件，增加图层附着力的软件等离子蚀刻可降至15摄氏度。 所有的温度控制系统都是预先编程并集成到软件中。将不同的气体引入空腔，能够对过程做好修改。常见气体有O2、N2、Ar、H2和CF4。大部分实验室都将这五种气体单独或联合用于真空等离子清洗设备。