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等离子体与工件表面的化学反应与常规化学反应有很大不同。由于高速电子的轰击、工作气体往往是氧气，产生许多奇特而有用的效应；清洗和蚀刻：比如清洗时，氧气被加速电子轰击成氧离子和自由基后极具氧化性，许多常温下稳定的气体或蒸气可以以等离子体的形式与工件表面发生反应。

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