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2）将等离子体清洗用气体引入真空室内。环氧树脂可以增加附着力吗保持室内压力稳定。根据清洗材料的不同。可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。3）在真空室内电极与接地装置之间施加高频电压。清洗处理一般持续几十秒至几十分钟4）清洗后切断电源，使真空室内产生的等离子体完全覆盖待处理工件，通过真空泵将气体和气化的污物泵出，开始清洗作业，通过辉光放电产生等离子体，使气体被击穿。

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等离子体分为高温等离子体和低温等离子体。高温等离子体只有在温度足够高的情况下才能发生。太阳和恒星不断发射这种等离子体、其电子温度可达数千甚至数万℃，可激发、解离、电离、结合分子或原子，可用于能源领域的可控核聚变；低温等离子体可在常温下发生，环氧树脂可以增加附着力吗其粒子温度高达数千万甚至数亿℃。低温等离子体可分为热等离子体和冷等离子体。

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干式墙等离子清洗具有明显（明显）的优势，在半导体器件和光电元件的封装领域得到广泛应用和应用。等离子体是由带电粒子如正离子、负离子和自由电子以及中性粒子如激发分子和自由基组成的部分电离的气体。它被称为等离子体，因为它的正负电荷总是相等的。这是物质存在的另一种基本形式（第四态）。等离子清洗设备通过对工件（电子元件和半成品、元件、基板、制造过程中的印刷电路板）表面进行化学或物理处理来去除污垢和污垢。

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