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此外、但现在被蚀刻机、等离子清洗机等国外垄断，等离子技术在芯片行业已经适度成熟。 “但我国很多企业不知道从哪里获得相关的等离子技术，”李建刚坦言。..为此，他提出了三点建议。一是在科研院所和高校设立方向明确的冷等离子体重点实验室，提高理论和实验水平。二是与多家公司建立等离子工程技术中心。三是加强国际合作，探讨等离子工程和工艺技术。。

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