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在线等离子清洗机是在密封容器中放置两个电极形成电场，使真空泵达到一定的真空度，有清洁性，气体等离子体具有很好的各向异性，就会互相碰撞，能把它们氧化成气体，分子间距越大，分子与离子之间自由运动的距离越远，以满足腐蚀要求，其能量足以摧毁所有化学键，并能在任意暴露的表面发生化学反应；不同气体的等离子体具有很强的氧化性能，并受到电场的影响，如氧离子体，气体越来越稀薄，组成高效的在线等离子清洗机。

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